數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 我們提供基于領(lǐng)域技術(shù)開發(fā)的各種型號(hào)以滿足用戶需求

各種氣體在不同的工業(yè)領(lǐng)域中有各種用途：從廣受矚目的新能源領(lǐng)域，太陽能面板和燃料電池的研發(fā)和制造，到電子工業(yè)中的半導(dǎo)體，液晶面板和LED的研發(fā)制造。各種氣體在推動(dòng)社會(huì)發(fā)展的進(jìn)程中發(fā)揮著作用。

而對(duì)氣體流量的精確測(cè)量與控制也是提高生產(chǎn)率和能源節(jié)省所需要的。

HORIBA STEC專注于質(zhì)量流量控制器的研究開發(fā)，服務(wù)于近乎藝術(shù)級(jí)的半導(dǎo)體制程，并持續(xù)不斷地制造各類新的產(chǎn)品，滿足用戶的各種需求。

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多種配置選擇

通信模式可選擇數(shù)字/模擬，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS。

兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規(guī)格供選擇：124 mm-和106mm-(W系列)。

氣體流量控制范圍擴(kuò)大到從10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要?dú)怏w控制方面的應(yīng)用。

高精度

高精度(設(shè)定點(diǎn)為基準(zhǔn))MFC的線性度將由近似多項(xiàng)式曲線進(jìn)行補(bǔ)償。這幫助實(shí)現(xiàn)了對(duì)所有流量控制范圍的高精度控制。為了實(shí)際氣體流量的準(zhǔn)確性進(jìn)一步提高，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行校驗(yàn)。

整個(gè)流量控制范圍內(nèi)都可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)速度

Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可變PID運(yùn)算法則:1秒高速響應(yīng) SEC-N100 系列搭載了最新開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)"，對(duì)于所有設(shè)置點(diǎn)它可以實(shí)現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當(dāng)您改變標(biāo)定滿量程和氣體種類時(shí)，可變PID將根據(jù)當(dāng)下的設(shè)定點(diǎn)不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。

多氣體、多量程的解決方案

專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力最新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

流量控制范圍為標(biāo)定滿量程的2～100%